Na niedawnym "SSLCHINA 2021: Mini / Micro LED Technology Industry Application Forum", Hu Jianzheng, dyrektor MOCVD Process Technology of China Micro Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd., udostępnił sprzęt Prismo UniMax® MOCVD używany do niebieskiej i zielonej produkcji MiniLED przez China Micro Semiconductors (Shanghai) Co., Ltd. Najnowsze osiągnięcia.
Hu Jianzheng wprowadził, że w porównaniu z tradycyjnymi diodami LED używanymi do oświetlenia, płytki epitaksjalne Mini / Micro LED mają bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące jednorodności długości fali i liczby cząstek. Konieczne jest opracowanie nowej platformy MOCVD w celu poprawy jednorodności długości fali płytek epitaksjalnych i redukcji cząstek. Ilość, aby zrealizować komercyjne zastosowanie Mini / Micro LED.
Najnowsza platforma MOCVD Prismo UniMax® opracowana przez China Microelectronics, która może być wykorzystywana do masowej produkcji MiniLED, poprzez precyzyjną regulację lokalnego pola temperatury i optymalizację pola przepływu, niebiesko-zielone diody LED uprawiane na podłożach 4 "i 6" osiągnęły dobre wyniki. W warunkach konfiguracji 41×4" jednorodność długości fali wewnątrz i między niebieskim układem LED jest również bardzo wysoka, odpowiednio, 0,71 nm i 0,87 nm (1σ); w warunkach konfiguracji 10×6" długość fali niebieskiego układu LED jest jednolita Wydajność osiąga 0,84 nm (1σ), a maksymalna i minimalna różnica w długości fali kwadratowej płyty 100 mm×100 mm wynosi zaledwie 2,4 nm. W przypadku 6-calowej zielonej diody LED o średniej długości fali 530 nm jednorodność długości fali na chipie wynosi 1,04 nm (1σ), a maksymalna i minimalna różnica w długości fali kwadratowego układu 100 mm × 100 mm wynosi tylko 4,6 nm.
Według oficjalnej strony internetowej China Microelectronics, pod względem konfiguracji, sprzęt Prismo UniMax® MOCVD ma do 4 komór reakcyjnych, które mogą przetwarzać 108 4-calowych lub 40 6-calowych wysokowydajnych wysokoprocentowych płytek epitaksjalnych MiniLED na bazie azotku galu w tym samym czasie. Regulację można rozszerzyć do przetwarzania 164 4-calowych lub 72 6-calowych płytek epitaksjalnych w tym samym czasie, a jej zdolność procesową można również rozszerzyć, aby wyhodować 8-calowe płytki epitaksjalne. Ponadto sprzęt jest wyposażony w tacę grafitową o dużej średnicy 785 mm, która znacznie poprawia zdolność produkcyjną sprzętu i skutecznie obniża koszty produkcji płytek epitaksjalnych MiniLED.
Poinformowano, że sprzęt Prismo UniMax® MOCVD został oficjalnie wydany w czerwcu tego roku i jest używany głównie do masowej produkcji płytek epitaksjalnych MiniLED na bazie GaN. 9 grudnia firma China Microelectronics ogłosiła, że zamówienie na sprzęt Prismo UniMax® MOCVD przekroczyło 100 wnęk.
Rozumie się, że China Micro Semiconductor Equipment Co., Ltd. została założona w 2004 roku i ma siedzibę w Szanghaju. W 2019 roku był notowany na Liście Innowacji Naukowych i Technologicznych Giełdy Papierów Wartościowych w Szanghaju. Zajmuje się głównie badaniami i rozwojem, produkcją i sprzedażą wysokiej klasy sprzętu półprzewodnikowego i sprzętu pan-półprzewodnikowego. Dystrybucja produktów firmy Istnieją: sprzęt do trawienia CCP, sprzęt do trawienia ICP, sprzęt do głębokiego trawienia krzemu, sprzęt MOCVD, sprzęt do oczyszczania LZO.
Wśród nich sprzęt MOCVD serii Prismo opracowany przez China Microelectronics może być szeroko stosowany w produkcji różnych urządzeń opartych na azotkach grupy III, w tym niebiesko-zielonych diod LED, diod LED głębokiego ultrafioletu i urządzeń zasilających. Obecnie sprzęt MOCVD firmy China Micro został wprowadzony do masowej produkcji na głównych liniach produkcyjnych LED w branży.
W 2020 roku China Microelectronics osiągnęła dochód operacyjny w wysokości 2,273 miliarda juanów, co oznacza wzrost o 16,76% rok do roku; zysk netto przypadający akcjonariuszom spółek giełdowych wyniósł 492 mln juanów, co oznacza wzrost o 161,02% rok do roku. W pierwszej połowie 2021 r. dochód operacyjny China Micro wyniósł 1,339 mld juanów, co oznacza wzrost o 36,82% rok do roku; zysk netto przypadający akcjonariuszom spółek giełdowych wyniósł 397 mln juanów, co oznacza wzrost o 233,17% rok do roku.
